- Ambient pressure
- Front-end modules
- Load ports/aligners
- Inspection stations
- Compact precision
- EFEM integration
Beschreibung
Der SIASUN Blade-D156 Atmosphären-Manipulator bewegt Wafer (oder waferähnliche Substrate) zwischen Frontend-Modulen, Load-Ports, Alignern, Inspektionsstationen und Prozessanlagen-Schnittstellen bei Umgebungsdruck.
Positioniert als kompakte Präzisions-Transferplattform, häufig Teil eines EFEM oder einer integrierten Materialhandling-Zelle.
Der Blade-D156 wird für atmosphärisches Handling in den Bereichen Halbleiter, Inspektion und Industrie eingesetzt.
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Funktionen
Technische Daten
Branchen
SIASUN Atmosphären-Manipulator Blade D156
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Robotic Arm
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