Das SIASUN TSS-3000 EFEM (Equipment Front End Module) dient als kontrollierte Schnittstelle zwischen dem Materialtransport der Fabrik und dem internen Transfer der Prozessanlage. Koordiniert Waferbeladung, Ausrichtung/Übergabe und Transfer.

Gewährleistet Kontaminationskontrolle und standardisierte Anlagenkommunikation in Halbleiter-Waferfabriken.

Das TSS-3000 eignet sich für Waferhandling-Anwendungen in Halbleiterindustrie, Logistik und Industrie.

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