- Vakuumtransfer
- Waferbewegung
- Druckregelung
- Kontaminationsreduzierung
- Be-/Entladeschnittstelle
- Wiederholbarer Ablauf
Beschreibung
Die SIASUN Diagram 600 Vacuum Transfer Platform ermöglicht Waferbewegungen zwischen Lade-/Entladeschnittstellen und vakuumbasierten Prozessmodulen. Hält kontrollierte Druckbedingungen aufrecht, um Kontamination zu reduzieren.
Hauptsächlich eingesetzt für den Wafertransfer innerhalb von Halbleiteranlagen zur Unterstützung wiederholgenauer Produktionsabläufe.
Die Diagram 600 eignet sich für Vakuumtransfer-Anwendungen in Halbleiterindustrie, Forschung und Industrie.
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Funktionen
Technische Daten
| Modell | Diagram 600 |
|---|---|
| Robotertyp | Vakuumtransferplattform |
| Verwendungszweck | Halbleitertransfer |
| Marke | SIASUN |
Branchen
Häufig gestellte Fragen
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Die SIASUN Diagram 600 ist eine Vakuumtransferplattform für die Waferbewegung in Halbleiteranlagen. Kontrollierter Druck für kontaminationsfreie Produktionsabläufe.
SIASUN Vacuum Transfer Platform Diagram 600 eignet sich hervorragend für Anwendungen in den Bereichen Industrie.
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SIASUN Vacuum Transfer Platform Diagram 600
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