- Entorno de vacío
- Transferencia de obleas
- Integración en herramienta de clúster
- Movimiento repetible
- Alta disponibilidad
- Reducción de partículas
Descripción
El SIASUN Vacuum Robot Archer Series transfiere obleas o sustratos entre cámaras de proceso en equipos de tipo clúster. Diseñado para entornos de vacío con movimiento repetible y alta disponibilidad.
Se integra con módulos de automatización front-end y herramientas de clúster de vacío para reducir la generación de partículas y mantener una fabricación limpia.
La Archer Series atiende aplicaciones de procesamiento en vacío en semiconductores e industria.
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Características
Especificaciones
| Modelo | Vacuum Robot Archer Series |
|---|---|
| Tipo de robot | Transferencia en vacío |
| Uso previsto | Procesamiento de semiconductores |
| Marca | SIASUN |
Sectores
Preguntas frecuentes
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La SIASUN Vacuum Robot Archer Series transfiere obleas en equipos clúster de vacío. Automatización de alta disponibilidad para entornos limpios de procesamiento de semiconductores.
SIASUN Vacuum Robot Archer Series es ideal para aplicaciones en los sectores Industrial.
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