- Robô de limpeza
- Manuseamento de substratos
- Transferência de processo/armazenamento
- Controlo da contaminação
- Gestão da redução do risco
- Fabrico avançado
Descrição
O Robô de Vácuo PHOENIX-S25 SIASUN está agrupado nos subsistemas de "robôs limpos" da SIASUN, incluindo manuseamento EFEM e plataformas de transferência em vácuo. Movimenta substratos sensíveis entre locais de processo e de armazenamento.
Minimiza a contaminação e o risco de manuseamento de wafers ou painéis no fabrico de semicondutores e no fabrico avançado.
O Phoenix-S25 serve aplicações de fabrico limpo nos setores dos semicondutores e da indústria.
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Características
Especificações
Setores
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