SIASUN PHOENIX Serisi Vakum Manipülatörü, bir küme aracının vakum transfer modülü (VTM) veya transfer odası içinde çalışır. Alt tabanları (genellikle silikon waferlar) yük kilitleri ile birden fazla proses odası arasında taşır.

Ön uç otomasyon ekosisteminin bir parçası olarak sıkı temizlik, konumlandırma doğruluğu ve çalışma süresi gereksinimlerini korur.

Phoenix Serisi, yarı iletken, lojistik, araştırma ve denetim uygulamalarına hizmet eder.

Fiyat ve stok durumu için iletişime geçin.