- Doğrudan tahrik, kayışsız tasarım Dişlisiz ve kayışsız motor yapısı, daha akıcı ve daha güvenilir transfer hareketi için boşluğu ve mekanik aşınma noktalarını azaltır.
- Vakum ortamına uygun Düşük partikül oluşumu ve kontrollü gaz salınımı için üretilmiştir; böylece wafer'lar kontrollü ortamı bozmadan vakumlu ekipmanlar boyunca taşınır.
- Hassas alt katman taşıma Wafer'ları yükleme kilitleri, transfer odaları ile biriktirme, aşındırma ve metroloji istasyonları gibi proses modülleri arasında aktarır.
- Titreşim kontrollü hareket Hareket; alma, yerleştirme ve taşıma sırasında titreşimi en aza indirecek şekilde ayarlanarak yüksek değerli alt katmanları korur.
- Entegrasyona hazır kontrol Ekipman kilitlemelerine ve fabrika sinyallerine bağlantı için hareket kontrolörü ve güncellenmiş bir I/O modülü dahil I/O arayüzleriyle birlikte sunulur.
- Tekrarlanabilir, yüksek kapasiteli transfer Tutarlı uç eleman taşıma; yarı iletken proses ekipmanlarında tekrarlanabilirliği, kapasiteyi ve kontaminasyon kontrolünü destekler.
Açıklama
SIASUN Vacuum Robot Phoenix, yarı iletken ve temiz oda üretimi için bir vakum transfer robotudur; wafer'ları ve diğer hassas alt katmanları, kontrollü ortamı bozmadan yükleme kilitleri (load lock), transfer odaları ile biriktirme, aşındırma ve metroloji istasyonları gibi proses modülleri arasında taşımak üzere tasarlanmıştır. Hareketi, düşük partikül oluşumunun, kontrollü gaz salınımının ve titreşim kontrolünün yüksek değerli alt katmanları korumak için kritik olduğu vakum koşullarında kararlı ve akıcı transfer için ayarlanmıştır.
Phoenix, dişli ve kayışlara bağımlılığı azaltan doğrudan tahrik mimarisi kullanır; bu, daha akıcı ve daha tekrarlanabilir hareket için boşluğu ve mekanik aşınma noktalarını azaltır. Hareket kontrolörü ve I/O arayüzleriyle entegrasyona hazır bir platform olarak teslim edilir; tekrarlanabilirliğin, kapasitenin ve kontaminasyon kontrolünün önemli olduğu yarı iletken, temiz oda ve endüstriyel vakumlu taşıma uygulamalarına uygundur. Ayrıntılı teknik özellikler, fiyat ve stok durumu için bizimle iletişime geçin.
Özellikler
Teknik Özellikler
| Marka | SIASUN |
|---|---|
| Model | Vacuum Robot Phoenix (PHOENIX B Series) |
| Robot tipi | Vakumlu wafer transfer robotu |
| Tahrik mimarisi | Doğrudan tahrik, dişlisiz ve kayışsız |
| Ortam | Vakum / temiz oda (yarı iletken ekipmanları) |
| Taşıma | Uç eleman paleti ile wafer'lar ve hassas alt katmanlar |
| Kontrol ve I/O | Ekipman entegrasyonu için entegre I/O modüllü hareket kontrolörü |
| Tipik uygulamalar | Yarı iletken proses ekipmanlarında biriktirme, aşındırma ve metroloji transferi |
Sektörler
Sıkça Sorulan Sorular
SIASUN Vacuum Robot Phoenix için güncel fiyat, stok durumu ve size özel teklif almak üzere bizimle iletişime geçin.
Wafer'ları ve diğer hassas alt katmanları, kontrollü vakum ortamını bozmadan yükleme kilitleri, transfer odaları ile biriktirme, aşındırma ve metroloji istasyonları gibi proses modülleri arasında taşıyan bir vakum transfer robotudur.
Dişlisiz ve kayışsız doğrudan tahrik yapısı ara aktarma bileşenlerini ortadan kaldırır; boşluğu ve mekanik aşınma noktalarını azaltır ve hassas transfer için daha akıcı, daha tekrarlanabilir hareketi destekler.
Evet. Phoenix; ekipman kilitlemelerine ve fabrika otomasyon sinyallerine bağlantı için hareket kontrolörü ve güncellenmiş bir I/O modülü dahil I/O arayüzleriyle, entegrasyona hazır bir platform olarak teslim edilir. Ayrıntılı sayısal teknik özellikler konfigürasyona göre sağlanır.
Evet. Robotix Market, faturalandırma ve satış sonrası destekle dünya genelindeki işletmelere tedarik sağlar. Teklif için bizimle iletişime geçin.
Son Görüntülenenler
Henüz hiçbir ürünü görüntülemediniz.
